一种高效芯片自动测试夹具

基本信息

申请号 CN202120190559.0 申请日 -
公开(公告)号 CN214923646U 公开(公告)日 2021-11-30
申请公布号 CN214923646U 申请公布日 2021-11-30
分类号 B25B11/00(2006.01)I 分类 手动工具;轻便机动工具;手动器械的手柄;车间设备;机械手;
发明人 田腾腾;刘伟;张海洋;吕文波 申请(专利权)人 苏州伊欧陆系统集成有限公司
代理机构 常州品益专利代理事务所(普通合伙) 代理人 侯慧娜
地址 215000江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区9幢202室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及半导体测试夹具领域,具体涉及一种高效芯片自动测试夹具。包括真空吸盘,真空吸盘上表面开槽并在槽内设置有若干吸附台,若干吸附台通过芯片限位板套住对待测试芯片进行限位,真空吸盘下表面开有若干真空槽,并通过密封板进行密封形成若干真空腔,真空吸盘侧边有若干真空孔,若干真空孔与若干真空腔分别单独导通,若干吸附台上下开均有若干吸附孔,吸附孔与真空腔导通,真空吸盘上表面的若干吸附台与若干真空腔相互对应配合形成若干功能区,每个功能区的若干吸附台的形状和大小相同。通过真空吸附固定待测试芯片,吸附稳定性强,芯片不易偏移,无污染,而且便于装载和取出。使用范围广,测试效率高。