一种液氮环境载物装置及应用于晶圆测试的液氮手动探针台专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种液氮环境载物装置及应用于晶圆测试的液氮手动探针台

基本信息

申请号	CN202120902179.5	申请日	-
公开（公告）号	CN215493961U	公开（公告）日	2022-01-11
申请公布号	CN215493961U	申请公布日	2022-01-11
分类号	G01R31/28（2006.01）I;G01R1/067（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	田腾腾;刘伟;张海洋;吕文波	申请（专利权）人	苏州伊欧陆系统集成有限公司
代理机构	苏州佳捷天诚知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	魏孝廉
地址	215000江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园A7楼
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及集成电路测试技术领域，具体涉及一种液氮环境载物装置及应用于晶圆测试的液氮手动探针台。包括真空保温层，所述真空保温层上端设置有保温盖，所述保温盖和所述真空保温层内侧形成保温腔，所述真空保温层外侧和底部包裹有防护层，所述保温腔内设置有载物台，所述载物台上表面设置有用于定位和固定晶圆的晶圆固定件、四周开有用于安装传感器的若干sensor孔；所述保温盖上开有注液口、并通过上盖板盖住，所述防护层外侧和底部包裹有外壳，所述外壳下端固定有安装适配板。本实用新型通过真空保温层和保温盖构成的保温腔，可以有效的避免液氮的快速挥发，确保液氮注入后能够快速的进入稳定状态，方便进行液氮环境下的晶圆测试工作。