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一种具有粗糙侧壁的引线框架的制备方法

基本信息

申请号 CN202011329108.7 申请日 -
公开（公告）号 CN112133640A 公开（公告）日 2020-12-25
申请公布号 CN112133640A 申请公布日 2020-12-25
分类号 H01L21/48;H01L23/495 分类 基本电气元件;
发明人 黎超丰;冯小龙;章新立;林渊杰;林杰 申请（专利权）人 宁波康强电子股份有限公司
代理机构 宁波市鄞州盛飞专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 宁波康强电子股份有限公司
地址 315105 浙江省宁波市鄞州投资创业中心金源路988号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于半导体器件技术领域，具体涉及一种具有粗糙侧壁的引线框架的制备方法。本发明先对引线框架上表面进行单面棕色氧化，再在电镀和蚀刻后对半蚀刻区域和侧壁进行超粗化处理，通过超粗化工艺条件的控制，使侧壁和半蚀刻区域形成粗糙度良好的粗糙表面，增加了引线框架与塑封树脂接触区域的结合力，而引线框架下表面未经过粗糙化处理，仅在裸露的焊盘区域形成表面光滑的预电镀层，减少了表面粗糙化的面积，同时下表面不易粘附塑封过程产生的溢料，减少清洗难度，有利于简化工艺，节省粗化和电镀成本。本发明的引线框架侧壁具有良好的粗糙度，改善了集成电路封装体的气密性和可靠性，减少分层、开裂等缺陷。