GT35球碗曲面沉积TiN膜工艺方法
基本信息
| 申请号 | CN202110907484.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113652637A | 公开（公告）日 | 2021-11-16 |
| 申请公布号 | CN113652637A | 申请公布日 | 2021-11-16 |
| 分类号 | C23C14/06（2006.01）I;C23C14/02（2006.01）I;C23C14/22（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 仲银鹏;王昊;李文卓 | 申请（专利权）人 | 陕西航天时代导航设备有限公司 |
| 代理机构 | 宝鸡市新发明专利事务所 | 代理人 | 严翔 |
| 地址 | 721300陕西省宝鸡市陈仓区科技新城高新大道501号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种GT35球碗曲面沉积TiN膜工艺方法，包括以下步骤S1.预热；S2.刻蚀；S3.打底；S4.沉积TiN过渡层；S5.沉积TiN功能层，启动Ti靶材同时通入饱和状态氮气，保持炉压和温度，反复该步骤，且每次沉积前需要使前次沉积的功能层冷却至炉内温度从而消除功能层内应力，直至沉积达到规定厚度完成功能层沉积；S6.冷却出炉：零件随炉冷却至80℃以下取出；在沉积功能层时逐层沉积，且每次均需要冷却处理，从而消除功能层内应力。 |
