石墨烯生长系统

基本信息

申请号 CN202010069449.9 申请日 -
公开(公告)号 CN113213459A 公开(公告)日 2021-08-06
申请公布号 CN113213459A 申请公布日 2021-08-06
分类号 C01B32/186 分类 无机化学;
发明人 李文超 申请(专利权)人 陕西兴汉澜墨科技有限公司
代理机构 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 汤东凤
地址 719000 陕西省榆林市神木市神木镇滨河新区金控大厦10楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种石墨烯生长系统,包括催化剂的前驱体制备子系统、催化剂制备子系统、催化剂改性子系统、石墨烯生长子系统、物料收集子系统、储运子系统以及气源子系统,其中催化剂的前驱体制备子系统、催化剂制备子系统、催化剂改性子系统、石墨烯生长子系统以及物料收集子系统依次连接,储运子系统分别与催化剂改性子系统以及石墨烯生长子系统连接,气源子系统分别与催化剂制备子系统以及石墨烯生长子系统连接。本发明首创实现了通过化学气相沉积法进行高质量石墨烯粉体的规模化生产,能够实现石墨烯的可控生长。该系统安全可靠,同时能够有效解决化学沉积过程中产生的尾气排放问题,避免了反应后的残余气直接排入大气造成的污染。