盘形合金钢工件辉光离子氮化装置

基本信息

申请号 CN201120209540.2 申请日 -
公开(公告)号 CN202144510U 公开(公告)日 2012-02-15
申请公布号 CN202144510U 申请公布日 2012-02-15
分类号 C23C8/36 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 徐雪民;李德东 申请(专利权)人 资阳晨工电器有限公司
代理机构 成都立信专利事务所有限公司 代理人 冯忠亮
地址 641301四川省资阳市雁江区松涛镇
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型为盘形合金钢工件辉光离子氮化装置,该装置不仅实现了盘形工件的离子氮化,同时又解决了因氮化温度不均而产生的变形问题,其核心是保证工件淡化温度整体误差控制在±5℃范围内。它包括位于底座(16)上的真空罩(11)和位于真空罩内的阴极底座(6),阴极底座上的阴极支柱(5)支承盘形工件(4),真空罩(11)构成的阳极与阳极接入口连接,阴极底座(6)与阴极接入口(10)连接,在阴极底座(6)的环周上均布有若干片状辅助阴极(3),若干片状辅助阴极(3)包围盘形工件,或者阴极底座(6)的周边与环形辅助阴极(3)连接,辅助阴极的高度大于阴极支柱(5)的高度与盘形工件(4)的厚度之和。