一种涡轮分子泵

基本信息

申请号 CN202121779960.4 申请日 -
公开(公告)号 CN215256873U 公开(公告)日 2021-12-21
申请公布号 CN215256873U 申请公布日 2021-12-21
分类号 F04D19/04(2006.01)I;F04D29/32(2006.01)I;F04D29/54(2006.01)I;F04D29/66(2006.01)I 分类 液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵;
发明人 张伟明;傅晔 申请(专利权)人 上海盛剑环境系统科技股份有限公司
代理机构 北京品源专利代理有限公司 代理人 杨雪
地址 201821上海市嘉定区嘉定工业区永盛路2229号2幢2层210室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种涡轮分子泵,属于分子泵技术领域。本实用新型的涡轮分子泵,包括泵壳、至少四个轮毂、至少四级叶轮组和驱动件,至少四个轮毂可转动地设置于泵壳内;叶轮组包括动叶轮和静叶轮,至少四级叶轮组的动叶轮一一对应地设置于至少四个轮毂上,且沿气流方向,动叶轮与静叶轮交替设置;动叶轮包括多个动叶片,动叶片为机翼形叶片,且轮毂的外径与对应的动叶轮的外径之比的范围为0.4‑0.7;单级叶轮组的压缩比范围为1.4‑2;驱动件用于驱动轮毂旋转。动叶片宽度较大,单级压缩比更高,在满足同等真空度要求下,能够减少涡轮分子泵的每级动叶轮的叶片数量,使得动叶轮构造更简单易于制造,还减少了对工况点不统一的影响。