一种涡轮分子泵
基本信息
申请号 | CN202121779960.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN215256873U | 公开(公告)日 | 2021-12-21 |
申请公布号 | CN215256873U | 申请公布日 | 2021-12-21 |
分类号 | F04D19/04(2006.01)I;F04D29/32(2006.01)I;F04D29/54(2006.01)I;F04D29/66(2006.01)I | 分类 | 液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵; |
发明人 | 张伟明;傅晔 | 申请(专利权)人 | 上海盛剑环境系统科技股份有限公司 |
代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 杨雪 |
地址 | 201821上海市嘉定区嘉定工业区永盛路2229号2幢2层210室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种涡轮分子泵,属于分子泵技术领域。本实用新型的涡轮分子泵,包括泵壳、至少四个轮毂、至少四级叶轮组和驱动件,至少四个轮毂可转动地设置于泵壳内;叶轮组包括动叶轮和静叶轮,至少四级叶轮组的动叶轮一一对应地设置于至少四个轮毂上,且沿气流方向,动叶轮与静叶轮交替设置;动叶轮包括多个动叶片,动叶片为机翼形叶片,且轮毂的外径与对应的动叶轮的外径之比的范围为0.4‑0.7;单级叶轮组的压缩比范围为1.4‑2;驱动件用于驱动轮毂旋转。动叶片宽度较大,单级压缩比更高,在满足同等真空度要求下,能够减少涡轮分子泵的每级动叶轮的叶片数量,使得动叶轮构造更简单易于制造,还减少了对工况点不统一的影响。 |
