硅片的输送装置
基本信息
| 申请号 | CN202110706520.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113451187A | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN113451187A | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 谢建;杨凡;刘永才 | 申请（专利权）人 | 深圳市创一智能装备有限公司 |
| 代理机构 | 北京派特恩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈宇;张颖玲 |
| 地址 | 518104广东省深圳市宝安区沙井街道步涌社区大兴二路14号一层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种硅片的输送装置，涉及硅片的制备领域。该输送装置包括：主动带轮；传送带，套设于主动带轮的外部，且沿传送带的延伸方向间隔设置有多个用于承载硅片的托块；其中，主动带轮能够周期性地旋转，以带动托块沿传送带的延伸方向周期性地运动，且主动带轮在各周期内的转角与主动带轮的半径的乘积，等于相邻的托块的间距。这种输送装置能实现对硅片的长距离的踏步传输。 |
