一种载板的定位装置
基本信息
| 申请号 | CN202110660491.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113394152A | 公开（公告）日 | 2021-09-14 |
| 申请公布号 | CN113394152A | 申请公布日 | 2021-09-14 |
| 分类号 | H01L21/68（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 谢建;余玲珑;刘永才 | 申请（专利权）人 | 深圳市创一智能装备有限公司 |
| 代理机构 | 北京派特恩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈宇;张颖玲 |
| 地址 | 518104广东省深圳市宝安区沙井街道步涌社区大兴二路14号一层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种载板的定位装置，包括传送装置和阻挡装置，传送装置沿第一平面传送载板，多个阻挡装置可设置在预设区域，用于朝向设定方向运动以抵靠载板至少两个相对的边缘，接着阻挡装置沿第一平面相向推动载板以使载板中相邻子载板抵靠在预定位置。本发明实施例中阻挡装置通过朝设定方向运动以抵靠载板的相对边缘，阻挡装置可沿第一平面相向推动边缘处的多个子载板，子载板又推动相邻子载板共同运动，直到所有子载板均与相邻的子载板抵靠，实现载板整体的定位，从而准确确定了各个子载板的位置，降低了硅片取放的难度。 |
