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一种载板传送装置

基本信息

申请号 CN202110661268.X 申请日 -
公开（公告）号 CN113394147A 公开（公告）日 2021-09-14
申请公布号 CN113394147A 申请公布日 2021-09-14
分类号 H01L21/677（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 谢建;罗文杰;刘永才 申请（专利权）人 深圳市创一智能装备有限公司
代理机构 北京派特恩知识产权代理有限公司 代理人 陈宇;张颖玲
地址 518104广东省深圳市宝安区沙井街道步涌社区大兴二路14号一层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种载板传送装置，包括传输机构和驱动装置，载板开设多个间隔设置的台阶槽，传输机构在载板传送的方向间隔设置，驱动装置带动传输机构转动以传送载板，相邻的两个传输机构用于设置在载板上的同一个台阶槽的两侧，且相邻的传输机构之间的间距可调。载板以镂空的方式承载硅片，即硅片搭设在台阶槽的两侧，在硅片尺寸变化的情况下，载板中的台阶槽尺寸相应发生变化，本发明实施例由于相邻传输机构的间距可调，使得传输机构能调节为始终位于台阶槽的两侧并与载板接触，从而能够运送承载不同尺寸的载板，提高了载板传送装置对不同尺寸硅片的适应性，进而提高了太阳能电池的生产效率。