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一种制备大尺寸高致密度含稀土ITO铝靶材的方法

基本信息

申请号 CN202010137164.4 申请日 -
公开（公告）号 CN111266586A 公开（公告）日 2020-06-12
申请公布号 CN111266586A 申请公布日 2020-06-12
分类号 B22F3/115(2006.01)I 分类 -
发明人 魏海根;张真;张春;徐彬;吴勇 申请（专利权）人 合肥尚德新材料有限公司
代理机构 合肥正则元起专利代理事务所（普通合伙） 代理人 杨润
地址 238072安徽省合肥市巢湖市烔炀镇纬二路9号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种制备大尺寸高致密度含稀土ITO铝靶材的方法，该方法包括如下步骤：(1)熔炼：(2)等离子雾化沉积：将熔铸得到的初锭做阳极，以惰性气体等离子体做熔化和雾化介质，进行铝靶材的雾化沉积制备；(3)超塑性成形：采用在合金的半固态温度区间对雾化沉积锭进行超塑性成形；(4)热处理：采用均匀化、固溶、时效的热处理工艺，对靶材进行热处理，制得所述铝靶材。本发明通过初锭铸造，等离子雾化沉积，并结合随后的超塑性成形与热处理工序，来达到制备成分与组织均匀，这种方法所制备的含稀土元素铝合金靶材成分均匀，组织细小，能够满足显示屏制造、通信、电子等领域对铝合金稀土靶材日益增长的高品质要求。