一种12吋晶圆片摆臂固晶装置及使用方法
基本信息
| 申请号 | CN202110265830.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112928054A | 公开（公告）日 | 2021-06-08 |
| 申请公布号 | CN112928054A | 申请公布日 | 2021-06-08 |
| 分类号 | H01L21/677 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈能强 | 申请（专利权）人 | 无锡昌鼎电子有限公司 |
| 代理机构 | 无锡智麦知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘咏华 |
| 地址 | 214000 江苏省无锡市梁溪区会西路30-28号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种12吋晶圆片摆臂固晶装置，包括晶圆平台（7）、蓝膜放置及旋转机构、顶针平台、旋转支撑座，所述晶圆平台（7）、蓝膜放置及旋转机构下方设置有顶针平台，所述晶圆平台（7）上固定安装有位于晶环主座（1）的晶环臂（2），所述晶环臂（2）与第一晶环座（8）通过螺钉固定连接，所述晶环臂（2）下方安装有步进电机（5），所述步进电机（5）输出轴穿过晶环臂（2），所述步进电机输出轴上传动连接有皮带轮（10），所述皮带轮（10）通过皮带（11）与晶环座齿轮传动连接，所述晶环座齿轮上安装有第二晶环座（3），第二晶环座（3）上内套接有晶圆环（4）。生产速度高，可大幅降低使用者的设备投资成本。 |
