一种正交性自动测量、补偿系统

基本信息

申请号 CN202121158522.6 申请日 -
公开(公告)号 CN214951119U 公开(公告)日 2021-11-30
申请公布号 CN214951119U 申请公布日 2021-11-30
分类号 G01B11/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;G06T7/70(2017.01)I;G06K9/62(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 丁宁;潘钰 申请(专利权)人 江苏富港智能科技有限公司
代理机构 北京恒和顿知识产权代理有限公司 代理人 沈杨
地址 210000江苏省徐州市睢宁县双沟镇临空大道与安澜大道交叉口
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种正交性自动测量、补偿系统,包括运动平台,所述运动平台侧壁固定连接有X轴导轨和Y轴导轨,所述X轴导轨侧壁滑动连接有视觉系统,所述Y轴导轨侧壁滑动连接有标定板。本实用新型通过设置视觉系统和标定板,使得X轴导轨和Y轴导轨的相对运动由相机抓取并和标定板对比,使得X轴导轨和Y轴导轨就会被补偿为垂直,提高了工作效率,通过设置高精度标定图案的精度为1um,使得相机抓取的X轴导轨和Y轴导轨的相对运动与高精度标定图案进行比对时,精度更高,使得X轴导轨和Y轴导轨之间的误差更小,提高曝光精度和质量。