一种半导体元件清洗设备防撞装置

基本信息

申请号 CN201910420543.1 申请日 -
公开(公告)号 CN110185888B 公开(公告)日 2021-08-27
申请公布号 CN110185888B 申请公布日 2021-08-27
分类号 H01L21/67;F16M3/00;F16F15/02 分类 基本电气元件;
发明人 凌永康;杜良辉;孙国标 申请(专利权)人 江苏晶度半导体科技有限公司
代理机构 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 郭智
地址 212000 江苏省镇江市句容市开发区崇明西路102号8号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及机械技术领域,尤其为一种半导体元件清洗设备防撞装置,包括清洗设备主体,清洗设备主体的底部边缘处靠接有防护装置,防护装置由一对呈对称分布的防护机构组成,两个防护机构之间通过滑杆滑动连接,每个防护机构上均安装有护角板。该半导体元件清洗设备防撞装置,通过设置的防护装置,使防护装置对驶向清洗设备主体的推车等移动装置进行阻挡,防止推车等移动装置对清洗设备主体产生撞击,通过设置的护角板,使护角板对清洗设备主体的前端拐角处进行防护,通过使滑动套杆能相对前挡板进行滑动,使防护装置的前端与清洗设备主体之间的距离可进行调节。