线扫描共聚焦反射式成像装置
基本信息
申请号 | CN202111510535.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114199768A | 公开(公告)日 | 2022-03-18 |
申请公布号 | CN114199768A | 申请公布日 | 2022-03-18 |
分类号 | G01N21/01(2006.01)I;G02B26/10(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 冷冰;刘航;王新忠 | 申请(专利权)人 | 济南国科医工科技发展有限公司 |
代理机构 | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 | 代理人 | 韩玲 |
地址 | 250000山东省济南市高新区综合保税区港兴三路北段1号济南药谷研发平台区3号楼401房间 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种线扫描共聚焦反射式成像装置,包括:目镜、扫描透镜、扫描振镜、分光片、柱面镜、狭缝、线阵相机、激光器以及成像装置;所述激光器发出的激光通过所述柱面镜后,点光源被转换为线光源,然后透射所述分光片到达所述扫描振镜,再依次通过所述扫描透镜、目镜后到达样品表面;样品反射的光依次通过所述目镜、扫描透镜、扫描振镜后被所述分光片反射,经过所述狭缝后被所述线阵相机采集,最后在所述成像装置中进行成像。本发明通过柱面镜将点光源转换为线光源后,藉由高速振镜的扫描作用,使用线阵相机采集到样本反射光,能实现快速反射成像;本发明通过设置可电动控制的遮光机构提供暗室成像环境,能够提高成像效果,且操作方便。 |
