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一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的方法

基本信息

申请号 CN201811511770.7 申请日 -
公开（公告）号 CN109406133A 公开（公告）日 2019-03-01
申请公布号 CN109406133A 申请公布日 2019-03-01
分类号 G01M13/003;G01N15/10 分类 测量；测试;
发明人 靳毅;孙围华;刘绘生;余健;王丛岭;蒋丹;宋敏;陈泽芸 申请（专利权）人 九川真空科技成都有限公司
代理机构 成都嘉企源知识产权代理有限公司 代理人 胡林
地址 637200 四川省南充市西充县多扶工业园
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的方法，首先将腔体抽真空，然后让阀门开启和关闭，让阀门开启和关闭的次数达到待测阀门实际的工作次数后，阀门工作过程中脱落的粒子掉落在腔体内，然后通过粒子计数器对脱落的粒子进行计数。其计算原理为用气体将脱落的粒子吹入到粒子计数器中进行计数，然后将同样流量的气体吹入到粒子计数器中计数，两者比较就可以得出脱落粒子的数量。本发明能够检测阀门工作过程中粒子脱落的数量，以便真空阀门的生产方和购买方能够准确了解到真空阀门的粒子脱落量数据，解决了由于真空阀门粒子脱落量不符合要求而造成半导体或者光伏组件的质量受到影响的问题。