一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统
基本信息
| 申请号 | CN201811513354.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109406134A | 公开（公告）日 | 2019-03-01 |
| 申请公布号 | CN109406134A | 申请公布日 | 2019-03-01 |
| 分类号 | G01M13/003;G01N15/10 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张智明;孙围华;靳毅;刘绘生;余健;宋敏;陈泽芸;王丛岭;蒋丹 | 申请（专利权）人 | 九川真空科技成都有限公司 |
| 代理机构 | 成都嘉企源知识产权代理有限公司 | 代理人 | 胡林 |
| 地址 | 610210 四川省成都市中国(四川)自由贸易试验区成都市双流区西南航空港经济开发区公兴街道双兴大道1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统，包括真空装置、待测阀门、待测阀门驱动装置、气体通入装置和粒子计数器，真空装置包括腔体和抽真空装置，待测阀门驱动装置与待测阀门相连，待测阀门放置在腔体内，真空装置与气体通入装置和粒子计数器相连。本发明能够检测阀门工作过程中粒子脱落的数量，以便阀门的生产方和购买方能够准确了解到阀门的粒子脱落量数据，解决了由于阀门粒子脱落量不符合要求而造成半导体或者光伏组件的质量受到影响的问题。 |
