一种晶圆生产用中继模块的机械手
基本信息
| 申请号 | CN202022811411.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213752666U | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN213752666U | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | H01L21/683（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 唐正隆;吴星华;任硕;刘同同 | 申请（专利权）人 | 合肥开悦半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京圣州专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王振佳 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市经济技术开发区合肥空港经济示范区天柱山大道西、硕放路南电子厂房研发楼4楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆生产用中继模块的机械手，包括一体对称结构的本体，所述本体中心的固定孔外侧设有均匀分布的减重槽，所述本体的外沿设有呈正六边形分布的条形支撑部，所述支撑部设置于所述减重槽的外侧，且二者的中心位于同一条直线上，所述支撑部之间通过平滑的曲线结构连接；所述支撑部的外沿和中部分别设有位于同一个圆上的第一吸盘、位于同一个圆上的第二吸盘，所述第一吸盘下方的凸台高度高于所述第二吸盘的凸台高度。本实用新型采用上述结构的一种晶圆生产用中继模块的机械手，提高稳定性，增加使用效率，节约成本。 |
