一种消除共振型超薄晶圆用旋转模块
基本信息
| 申请号 | CN202022811414.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213340336U | 公开（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申请公布号 | CN213340336U | 申请公布日 | 2021-06-01 |
| 分类号 | H01L21/687（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 唐正隆;任硕;吴星华;张立 | 申请（专利权）人 | 合肥开悦半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京圣州专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王振佳 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市经济技术开发区合肥空港经济示范区天柱山大道西、硕放路南电子厂房研发楼4楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种消除共振型超薄晶圆用旋转模块，包括一体结构的旋转架，所述旋转架包括倒置锥形结构的托盘和设置于所述托盘下方的固定柱，所述固定柱上套设有设置于所述托盘下方的承载组件。本实用新型采用上述结构的一种消除共振型超薄晶圆用旋转模块，增加负载质量，有效减小共振，提高产品质量。 |
