一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂
基本信息
| 申请号 | CN202122115936.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215433719U | 公开（公告）日 | 2022-01-07 |
| 申请公布号 | CN215433719U | 申请公布日 | 2022-01-07 |
| 分类号 | B25J11/00（2006.01）I;B65G47/91（2006.01）I;B65G49/07（2006.01）I;B25J15/06（2006.01）I | 分类 | 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手; |
| 发明人 | 唐正隆;王正辉;吴星华;储长流;张立 | 申请（专利权）人 | 合肥开悦半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京圣州专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘岩 |
| 地址 | 230093安徽省合肥市经济技术开发区合肥空港经济示范区天柱山大道西、硕放路南电子厂房研发楼4楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂，包括臂体，所述臂体的安装端设置有安装孔，所述臂体的承载端开设有第一承载槽、第二承载槽以及调节槽，所述第一承载槽、所述第二承载槽以及所述调节槽同心设置，所述调节槽的中部设置有升降吸附固定机构，所述调节槽内对称设置有调节承载机构。采用上述结构的一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂，适用于多种尺寸的晶圆传送，结构简单，定位可靠，提高了设备的兼容性。 |
