一种多功能型晶圆传送手臂
基本信息
| 申请号 | CN202022811966.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213731811U | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN213731811U | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | B25J15/00 | 分类 | 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手; |
| 发明人 | 唐正隆;吴星华;任硕;汪丽静 | 申请（专利权）人 | 合肥开悦半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京圣州专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王振佳 |
| 地址 | 230000 安徽省合肥市经济技术开发区合肥空港经济示范区天柱山大道西、硕放路南电子厂房研发楼4楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种多功能型晶圆传送手臂，包括本体，所述本体的前端设有圆弧形夹持臂，其后端设有固定部，所述夹持臂末端的两侧设有与所述固定部连接的向内凹的弧形凹槽，所述夹持臂的宽度不大于所述固定部的宽度，所述夹持臂宽边的两侧设有对称设置的平端；所述固定部的中部设有第一减重槽，所述夹持臂的后端设有与所述固定部连接的第二减重槽，所述夹持臂的弧形结构前端的下方设有环形延长板，所述延长板、所述夹持臂的两端和中部均设有夹持头。本实用新型采用上述结构的一种多功能型晶圆传送手臂，结构简单，操作方便，实现多种类型晶圆的传送。 |
