一种消除共振的晶圆涂胶显影用传送手臂
基本信息
| 申请号 | CN202022811393.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213752672U | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN213752672U | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | H01L21/687（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 唐正隆;王正辉;吴星华;储长流 | 申请（专利权）人 | 合肥开悦半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京圣州专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王振佳 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市经济技术开发区合肥空港经济示范区天柱山大道西、硕放路南电子厂房研发楼4楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种消除共振的晶圆涂胶显影用传送手臂，包括本体，所述本体为一体结构，所述本体的前端设有对称结构的夹持臂，所述夹持臂的弧形内侧两端和中部均设有夹持头；所述夹持臂的外侧设有环形分布的第一减重带、第二减重带和第三减重带，所述第一减重带、所述第二减重带和所述第三减重带均以所述夹持臂的中心线为中心对称分布，所述第三减重带设置于所述本体后端的固定部，所述第一减重带、所述第二减重带和第三减重带纵向两端的外沿形成平滑的曲线结构。本实用新型采用上述结构的一种消除共振的晶圆涂胶显影用传送手臂，结构简单，操作方便，传输效率高。 |
