一种平边晶圆的主传送手臂
基本信息
| 申请号 | CN202022811446.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213703464U | 公开（公告）日 | 2021-07-16 |
| 申请公布号 | CN213703464U | 申请公布日 | 2021-07-16 |
| 分类号 | B25J15/00（2006.01）I | 分类 | 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手; |
| 发明人 | 唐正隆;王向东;王正辉;吴星华 | 申请（专利权）人 | 合肥开悦半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京圣州专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王振佳 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市经济技术开发区合肥空港经济示范区天柱山大道西、硕放路南电子厂房研发楼4楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种平边晶圆的主传送手臂，包括本体，所述本体为一体结构，所述本体的前端设有对称结构的夹持臂，其后端的固定部上对称设置有减重槽，所述夹持臂内部弧形结构的两端和中部均设有连接夹持头的卡槽，所述夹持头为一体的弧形结构，其内侧的中部设有水平置物部，所述置物部的等腰梯形结构两腰为向内凹陷的弧形结构；所述夹持头的内侧设有向内凹陷的弧形凹槽，所述凹槽中部通过导向槽与所述置物部连接，所述凹槽外侧切线的竖直夹角小于导向槽外侧切线的竖直夹角。本实用新型采用上述结构的一种平边晶圆的主传送手臂，结构简单，操作方便，传输效率高。 |
