一种晶圆传输装置用定位工装
基本信息
| 申请号 | CN202122116026.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215578478U | 公开（公告）日 | 2022-01-18 |
| 申请公布号 | CN215578478U | 申请公布日 | 2022-01-18 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 唐正隆;王正辉;吴星华;储长流;张立 | 申请（专利权）人 | 合肥开悦半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京圣州专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘岩 |
| 地址 | 230093安徽省合肥市经济技术开发区合肥空港经济示范区天柱山大道西、硕放路南电子厂房研发楼4楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆传输装置用定位工装，包括固定盘以及若干圆周对称分布于所述固定盘上的定位块，所述定位块包括固定板、移动板以及固定螺钉，所述固定板一端设置有卡台，所述固定板另一端设置有插槽，所述移动板一端插入到所述插槽内并通过固定螺钉固定，所述移动板另一端设置定位凸起。采用上述结构的一种晶圆传输装置用定位工装，适用于多种尺寸的晶圆固定，定位可靠，提高了传输装置的兼容性，降低设备成本。 |
