一种外部连接单元送晶圆传送手臂
基本信息
| 申请号 | CN202022811353.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213242526U | 公开（公告）日 | 2021-05-18 |
| 申请公布号 | CN213242526U | 申请公布日 | 2021-05-18 |
| 分类号 | H01L21/687 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 唐正隆;吴星华;刘同同;汪丽静 | 申请（专利权）人 | 合肥开悦半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京圣州专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王振佳 |
| 地址 | 230000 安徽省合肥市经济技术开发区合肥空港经济示范区天柱山大道西、硕放路南电子厂房研发楼4楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种外部连接单元送晶圆传送手臂，包括一体对称结构的手臂主体，所述手臂主体包括固定部和对称分布在所述固定部两侧的水平支撑部，所述固定部的中间设有若干个朝向支撑部的弧形限位槽，所述支撑部的末端设有若干个朝向固定部的弧形卡槽，所述限位槽和所述卡槽上方的外沿均设有圆弧形过度边。本实用新型采用上述结构的一种外部连接单元送晶圆传送手臂，与外接曝光机器对接使用时提高兼容性，节约成本。 |
