一种高效型晶圆传送臂
基本信息
| 申请号 | CN202022811449.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213752667U | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN213752667U | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | H01L21/683（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 唐正隆;王向东;吴星华;任硕 | 申请（专利权）人 | 合肥开悦半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京圣州专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王振佳 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市经济技术开发区合肥空港经济示范区天柱山大道西、硕放路南电子厂房研发楼4楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种高效型晶圆传送臂，包括均匀分布在同一圆形上的传送主体，所述传送主体为近L型的一体结构，并包括固定部和支撑部，所述支撑部包括分别与所述固定部连接的第一支撑部、第二支撑部，所述第二支撑部向外倾斜于所述第一支撑部；所述第一支撑部前端水平触头的长度长于所述第二支撑部末端水平触头的长度，所述触头上吸盘的内侧均设有传感器。本实用新型采用上述结构的一种高效型晶圆传送臂，结构简单，可以实现多种类型晶圆的传送，操作方便。 |
