一种封装用高性能键合铂合金微细材及其制备方法

基本信息

申请号 CN202110523285.7 申请日 -
公开(公告)号 CN113322394B 公开(公告)日 2022-03-01
申请公布号 CN113322394B 申请公布日 2022-03-01
分类号 C22C5/04(2006.01)I;C22F1/02(2006.01)I;C22F1/14(2006.01)I;B22D11/00(2006.01)I;C21D9/52(2006.01)I;C22C1/03(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I;H01L23/00(2006.01)I;B21B1/16(2006.01)I;B21B3/00(2006.01)I;B21C1/00(2006.01)I;B21C1/02(2006.01)I;B21C37/04(2006.01)I 分类 冶金;黑色或有色金属合金;合金或有色金属的处理;
发明人 柳旭;王炜;张京叶;陈怡兰;王峰;范树辉;马天俊;徐钊 申请(专利权)人 北京有色金属与稀土应用研究所有限公司
代理机构 北京北新智诚知识产权代理有限公司 代理人 刘徐红
地址 100012北京市朝阳区安定门外北苑路40号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种封装用高性能键合铂合金微细材及其制备方法,属于封装键合材料技术领域。该键合铂合金微细材各组分的重量百分比为:Ir:0%~60%,Ge:0%~5.0%,Be、Dy和Eu中的一种或几种,Be、Dy和Eu总含量为0.03%~0.1%,余量为Pt。其制备步骤包括制备中间合金、下引连续+定向凝固铸造合金化、粗拉+在线退火+精拉及精密轧制+在线电阻加热软化处理。该合金具有高纯化、超细化、高精化的优点,同时具有强度高、耐腐蚀性好、使用寿命长、满足极端恶劣环境使用需求等优点,适合特殊领域的封装键合需求,特别是满足芯片窄间距微型化、高可靠、高稳定性应用需求,对高端半导体器件的发展意义重大。