一种微电子封装用可伐/银合金复合材料及其制备方法
基本信息
申请号 | CN202110707913.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113540001A | 公开(公告)日 | 2021-10-22 |
申请公布号 | CN113540001A | 申请公布日 | 2021-10-22 |
分类号 | H01L23/488;H01L21/48;C22C5/08;C22F1/14 | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 元琳琳;付晓玄;史秀梅;黄晓猛;黄小凯;齐岳峰;许丽娟;王志明 | 申请(专利权)人 | 北京有色金属与稀土应用研究所有限公司 |
代理机构 | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘茵 |
地址 | 100012 北京市朝阳区安定门外北苑路40号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种微电子封装用可伐/银合金复合材料及其制备方法,该复合材料中银合金钎料层中Cu的含量为30~35wt%,Ti的含量为0.1~5.0wt%,Ni的含量为0.1~1.0wt%,余量为Ag;可伐合金层为4J29或4J34。制备方法包括:采用真空加压烧结方法制备钎料锭坯,通过热压扩散方式获得复合锭坯,经冷锻成形、中间退火、精密轧制及成品退火,获得厚度为0.15~1.5mm的层状复合材料,其中可伐合金层厚度为0.1~1mm,银合金钎料层厚度为0.01~0.5mm。本发明的可伐/银合金复合材料与陶瓷热膨胀系数匹配性好,可实现与陶瓷件良好封装。钎焊温度适中,封装工艺简单高效,器件封接后不易发生开裂,成品率高。 |
