一种用于大长径比管材内壁镀膜的脉冲激光沉积装置
基本信息
| 申请号 | CN202121842996.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215481231U | 公开（公告）日 | 2022-01-11 |
| 申请公布号 | CN215481231U | 申请公布日 | 2022-01-11 |
| 分类号 | C23C14/28（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 章嵩;涂溶;王传彬;张联盟;沈强;李志荣;李迎春 | 申请（专利权）人 | 广东汇成真空科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 | 代理人 | 官群;崔友明 |
| 地址 | 430070湖北省武汉市洪山区珞狮路122号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种用于大长径比管材内壁镀膜的脉冲激光沉积装置，所述装置包括：带有靶材（3）的靶座（10）；用于支撑靶座的多根可伸缩支杆；控制靶座沿大长径比管材轴心方向移动的传动装置；用于大长径比管材两端密封的两个密封端，每个密封端设有两个石英窗口（8）；与一个密封端连接的抽真空系统；脉冲激光装置，用于从石英窗口射入激光至靶材表面。本实用新型提供的用于大长径比管材内壁镀膜的脉冲激光沉积装置利用可伸缩支杆和传动装置控制靶座沿大长径比管材轴心方向移动，解决现有技术中靶系统自重过大，移动位置偏离管材轴心导致镀膜效果不稳定的问题，并且通过在一个靶座上安装多种靶材或拼合靶材实现复杂多层复合膜层的制备。 |
