一种设有移动传送工件挂板机械手的大型真空镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN202111030704.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113981405A | 公开（公告）日 | 2022-01-28 |
| 申请公布号 | CN113981405A | 申请公布日 | 2022-01-28 |
| 分类号 | C23C14/56（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李志荣;陈思;李运俊 | 申请（专利权）人 | 广东汇成真空科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州知友专利商标代理有限公司 | 代理人 | 周克佑 |
| 地址 | 523838广东省东莞市大岭山镇颜屋龙园路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种设有移动传送工件挂板机械手的大型真空镀膜机，真空镀膜机内设有相邻的过渡舱及镀膜工艺舱，两者之间设有插板阀分隔；镀膜工艺舱内设有工艺转架，其为一个竖立的多边形柱体壳，固定在工艺转架垂直回转轴上，柱体壳侧面的每一面上设有可钩挂工件挂板的挂钩；过渡舱内设有储备工件挂板梅花转架，其固定在梅花转架垂直回转轴上，梅花转架上设有竖立的工件挂板固定架，工件挂板固定架上可钩挂工件挂板，工件贴在工件挂板外侧；固定架拉出机构，用于将工件挂板固定架沿滑轨拉出梅花转架外；移动传送工件挂板机械手，用于将工件挂板在过渡舱和工艺舱之间来回移动传送。本机结构简化、造价降低、使用方便、故障率低。 |
