一种真空卷绕镀膜设备的舱室间隔断阀门

基本信息

申请号 CN202120181301.4 申请日 -
公开(公告)号 CN215404501U 公开(公告)日 2022-01-04
申请公布号 CN215404501U 申请公布日 2022-01-04
分类号 C23C14/56(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 李志方;陸创程;李昌辉 申请(专利权)人 广东汇成真空科技股份有限公司
代理机构 广州知友专利商标代理有限公司 代理人 周克佑
地址 523838广东省东莞市大岭山镇颜屋龙园路2号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种真空卷绕镀膜设备的舱室间隔断阀门,真空卷绕镀膜设备内至少设有2个舱室,舱室间设有立壁间隔,立壁上开有让卷绕薄膜通过的宽扁式舱间通道,所述的舱室间隔断阀门包括,在薄膜的一侧,固设有卸压式汽缸活塞气动组件,其活塞杆上固定有平行于薄膜面、具有弹性的长柱形密封胶辊,当活塞杆相对于薄膜倾斜伸出时,使得长柱形密封胶辊将薄膜顶压在舱间通道出口的密封凹槽面上封堵整个舱间通道。本实用新型结构简单,通过密封胶辊组件和宽扁式舱间通道的配合,能够连同通过舱间通道的柔性薄膜带一起实现舱间隔断密封,在进料和取料时可保持镀膜工艺舱维持真空状态,不受大气污染,保证镀膜产品高质量和工艺稳定性。