一种微波化学气相沉积金刚石装置
基本信息
| 申请号 | CN202120949481.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216074027U | 公开（公告）日 | 2022-03-18 |
| 申请公布号 | CN216074027U | 申请公布日 | 2022-03-18 |
| 分类号 | C23C16/27（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李志荣;牛二辉;冯晓庭 | 申请（专利权）人 | 广东汇成真空科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州知友专利商标代理有限公司 | 代理人 | 周克佑 |
| 地址 | 523838广东省东莞市大岭山镇颜屋龙园路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种微波化学气相沉积金刚石装置，其包括一真空反应室，真空反应室的腔体的顶部设有外接微波波导管的石英玻璃窗口、以及供入反应气的开孔环形气道，腔体内设有可升降的试样台，腔体固定在腔体固定板上，其特征是：所述试样台也设有供入反应气的开孔环形气道。本实用新型在反应室下方的试样台下面增设有环形气道布气，在靠近金刚石生长区近距离补充新鲜反应气体，可获得更多更具活性的初生碳，更有利于提高金刚石生长速率和定好率；且增设的布气结构为在原有设备的水冷盘上方只增加一只工件盘进气板、连接穿过水冷盘升降轴内腔增置的供气管，再外接送气嘴便可实现。结构简易、造价低。 |
