一种用于镀膜机的真空辅助加热舱
基本信息
| 申请号 | CN202022944942.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215050673U | 公开（公告）日 | 2021-12-07 |
| 申请公布号 | CN215050673U | 申请公布日 | 2021-12-07 |
| 分类号 | C23C14/56（2006.01）I;C23C14/02（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李志方;曾琨;魏先进;张明辉;李玉婷 | 申请（专利权）人 | 广东汇成真空科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州知友专利商标代理有限公司 | 代理人 | 周克佑 |
| 地址 | 523838广东省东莞市大岭山镇颜屋龙园路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种用于镀膜机的真空辅助加热舱，其特征是：所述的加热舱（4）为六面长方体，且具有六面长方体形的内腔，内腔底面上设有由两条对称的平行直线以及以两端的半圆弧连接构成的长环形轨道（3），长环形轨道之内设有相应的长环形链条驱动机构，长环形轨道之上设有相应的长环形固定内齿圈，在长环形轨道上可滑动地支承有滑块座（3‑10），滑块座的内侧与链条（3‑13）连接并被带动在长环形轨道上公转，滑块座上可转动地垂直支承有可挂工件（3‑8）的旋转杆（3‑7），旋转杆的下部固定有自转齿轮（3‑5）并与长环形固定内齿圈啮合使之在公转时实现自转。本实用新型舱室体积较小减低了制造成本，减少了抽真空时间和占地面积。 |
