一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的送取挂板机械手
基本信息
| 申请号 | CN202022600965.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216037214U | 公开（公告）日 | 2022-03-15 |
| 申请公布号 | CN216037214U | 申请公布日 | 2022-03-15 |
| 分类号 | B65G47/90（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I;C23C16/54（2006.01）I | 分类 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料; |
| 发明人 | 罗志明;李运俊;陸创程;陈思;冯晓庭 | 申请（专利权）人 | 广东汇成真空科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州知友专利商标代理有限公司 | 代理人 | 周克佑;何秋林 |
| 地址 | 523838广东省东莞市大岭山镇颜屋龙园路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的送取挂板机械手，其设置在输运舱，用于工艺舱的投料和取料，其包括动力组、直线模组组件和夹爪组件；所述动力组提供动力，通过所述直线模组组件驱动所述夹爪组件做直线往复运动，直线模组组件在输运舱内向工艺舱方向运动到极限位置时，其上安装的夹爪组件中的上、下爪板穿出输运舱进入工艺舱，所述夹爪组件自身结构可驱动其上、下爪板相向或背向运动而靠近或远离，从而实现抓取或松开挂板。本实用新型机械手控制精度高，能平稳、可靠地完成大型多舱室真空镀膜机内大型挂板的传送任务。 |
