一种半导体发光元件及其制备方法

基本信息

申请号 CN202080007340.0 申请日 -
公开(公告)号 CN113228310A 公开(公告)日 2021-08-06
申请公布号 CN113228310A 申请公布日 2021-08-06
分类号 H01L33/20(2010.01)I;H01L33/22(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I;H01L21/02(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 林宗民;黄苡叡;张中英;邓有财 申请(专利权)人 泉州三安半导体科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 362343福建省泉州市南安市石井镇院前村
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提出一种LED芯片及其制作方法,通过激光减薄LED芯片的衬底,然后进行隐形切割将芯片分离开。所述LED芯片的衬底背面具有激光减薄衬底过程中形成的粗化结构。本发明可解决现有化学机械研磨工艺减薄透明衬底厚度至小于80μm时出现的翘曲严重,边缘崩边引起的破片问题;同时所述LED芯片的衬底表面具有激光减薄衬底过程形成的粗化结构,可增强出光,提升发光亮度。