用于半导体测试的定位清洁装置
基本信息
| 申请号 | CN202021591971.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212905020U | 公开（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申请公布号 | CN212905020U | 申请公布日 | 2021-04-06 |
| 分类号 | G01R1/04(2006.01)I;B08B5/02(2006.01)I;G01R31/26(2014.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 卢红平;赵云峻;张鸿;卢发生 | 申请（专利权）人 | 上海泰睿思微电子有限公司 |
| 代理机构 | 上海唯源专利代理有限公司 | 代理人 | 汪家瀚 |
| 地址 | 201306上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区芦潮港路1758号1幢18641室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于半导体测试的定位清洁装置，包括中空结构的定位块(1)，定位块的一个面上形成有与产品结构相匹配的定位槽(11)，定位块安装在测试座(2)上，使定位槽位于测试探针(21)的上方；定位块的侧部形成有进气孔(12)并外接供气设备，定位块的另一个面上形成有面向测试探针的吹气孔(13)，进气孔、定位块的中空腔体和吹气孔形成吹气通道。本实用新型能通过定位槽对产品进行定位，确保产品引脚与测试探针的接触可靠性和精确性，同时能在产品测试间隙通过吹气通道对测试探针上的脏污进行吹扫清洁，确保连续、有效生产，避免测试探针频繁清洗的问题，减少降低维护时间，提高测试良率和生产效率。 |
