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卷对卷浸渍镀膜系统以及柔性透明导电材料的制备方法

基本信息

申请号 CN201510632354.2 申请日 -
公开（公告）号 CN105355706B 公开（公告）日 2019-04-05
申请公布号 CN105355706B 申请公布日 2019-04-05
分类号 H01L31/18（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 林清耿; 刘江; 陈治宇; 王洋 申请（专利权）人 惠州易晖光电材料股份有限公司
代理机构 广州市华学知识产权代理有限公司 代理人 惠州易晖光电材料股份有限公司
地址 516025 广东省惠州市惠澳大道惠南高新科技产业园华泰南路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于柔性透明导电材料镀膜功能化领域，具体涉及一种卷对卷浸渍镀膜系统和基于该系统的制备柔性透明导电材料的方法。所述卷对卷浸渍镀膜系统包括依次设置的放卷台、浸渍镀膜槽、清洗槽、收卷台；放卷台和收卷台之间还设置有卷对卷传动装置，卷对卷传动装置设置于浸渍镀膜槽和清洗槽的上方。所述制备柔性透明导电材料的方法，首先将柔性透明衬底进行磁控溅射镀覆本底膜层，然后采用卷对卷浸渍镀膜系统镀覆掩膜，再采用卷对卷磁控溅射工艺镀覆导电膜层，即得所述柔性透明导电材料。所得柔性透明导电材料具有绒面陷光结构，可作为薄膜太阳能电池的前电极；通过控制膜层厚度和微球绒面尺度，可制备出满足柔性触控面板需求的柔性透明导电材料。