纳米掩膜材料去除生产线及其生产工艺
基本信息
| 申请号 | CN201911228708.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111069163A | 公开（公告）日 | 2020-04-28 |
| 申请公布号 | CN111069163A | 申请公布日 | 2020-04-28 |
| 分类号 | B08B3/10;B08B1/02;B08B1/00;B82Y10/00 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 林清耿;武圣彬;杨文达;王洋 | 申请（专利权）人 | 惠州易晖光电材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州市华学知识产权代理有限公司 | 代理人 | 惠州易晖光电材料股份有限公司 |
| 地址 | 516006 广东省惠州市惠澳大道惠南高新科技产业园惠泰路7号G栋厂房1至2层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及特殊材料去除技术领域，公开了一种纳米掩膜材料去除生产线及其生产工艺，其生产工艺包括以下步骤：将操作平台浸入水槽的水中；控制进料运输机构将导电结构板运输到操作平台上，导电结构板包括从内到外依次层叠设置的基板、导电膜及纳米掩膜材料；在操作平台开设多个通孔，控制真空吸附装置抽取多个通孔内的气体，以将导电结构板吸附固定在操作平台上；控制传送位移组件驱动擦除工具在导电结构板外表面进行擦拭操作，以去除纳米掩膜材料。本发明能够连续式、规模化地去除纳米掩膜材料，能够提高去除纳米掩膜材料的高效性，能够在去除纳米掩膜材料的过程中避免导电结构板外表面受到损伤。 |
