首页/ 惠州易晖光电材料股份有限公司/ 专利详情

一种掩膜材料擦拭装置及其自动擦拭系统

基本信息

申请号 CN201621155891.9 申请日 -
公开（公告）号 CN206689077U 公开（公告）日 2017-12-01
申请公布号 CN206689077U 申请公布日 2017-12-01
分类号 B08B1/00(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 林清耿;陈治宇;杨文达;王洋 申请（专利权）人 惠州易晖光电材料股份有限公司
代理机构 广州市华学知识产权代理有限公司 代理人 惠州易晖光电材料股份有限公司
地址 516025 广东省惠州市惠澳大道惠南高新科技产业园华泰南路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种掩膜材料擦拭装置，包括：连接固定件、安装在连接固定件上的升降部、与升降部驱动连接的缓冲调节支架及安装在缓冲调节支架上的擦拭组件。本实用新型还公开一种自动擦拭系统，包括上述特征的掩膜材料擦拭装置，擦拭机械手与擦拭安放台，掩膜材料擦拭装置安装在擦拭机械手上。本实用新型的掩膜材料擦拭装置通过设置连接固定件、升降部、缓冲调节支架与擦拭组件，从而可以对擦拭的力度进行灵活控制，由此适用于不同规格材料的擦拭。本实用新型通过设置自动擦拭系统，从而可以利用全自动化的程序来控制擦拭过程，使得产品的品质可以得以稳定、一致的控制，并且擦拭的压力及角度可以得到精确的控制，符合大规模产线的生产需要。