一种基于锰铜合金微纳敏感单元的切削力测量装置
基本信息
| 申请号 | CN201710452017.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107322368B | 公开（公告）日 | 2019-04-16 |
| 申请公布号 | CN107322368B | 申请公布日 | 2019-04-16 |
| 分类号 | B23Q17/09（2006.01）I | 分类 | 机床；不包含在其他类目中的金属加工; |
| 发明人 | 赵友; 赵玉龙; 葛晓慧; 李莹雪; 张琪; 李村; 刘明杰; 赵云 | 申请（专利权）人 | 西安万威机械制造股份有限公司 |
| 代理机构 | 西安智大知识产权代理事务所 | 代理人 | 贺建斌 |
| 地址 | 710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种基于锰铜合金微纳敏感单元的切削力测量装置，在刀片和刀垫之间设有切削力测量单元，切削力测量单元的形状、尺寸与刀片、刀垫匹配，切削力测量单元为三明治结构，分别为上、下氧化铝绝缘层和中间器件层，中间器件层的内部集成有基于锰铜合金材料的敏感电阻，铜电极和引线电路的一端与基于锰铜合金材料的敏感电阻连通，另一端与切削力测量单元侧面的金属焊盘连通，从而使基于锰铜合金材料的敏感电阻与信号处理电路中的固定电阻连接构成惠斯通测量电桥，切削力测量单元采用MEMS技术进行加工，本发明具有兼容性好、通用性强、测量精度高的优点。 |
