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碲化锌掺碲化亚铜靶材的生产工艺

基本信息

申请号	CN201910055135.0	申请日	-
公开（公告）号	CN109704766A	公开（公告）日	2019-05-03
申请公布号	CN109704766A	申请公布日	2019-05-03
分类号	C04B35/515（2006.01）I; C04B35/622（2006.01）I	分类	水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
发明人	吴文斌; 舒小敏	申请（专利权）人	江西科泰新材料有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	330800 江西省宜春市高安市新世纪工业园通城西大道
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种碲化锌掺碲化亚铜靶材的生产工艺，具体地说，是碲化锌掺碲化亚铜材料的合成方法及其靶材的生产方法。具体步骤如下：将Zn、Te、Cu三种元素单质破碎成均匀小块或粉末，精确称量，按理论用量将三种单质均匀装入石英管中，抽真空后，进行密管合成。将合成好的ZnTe(99+x)Cu2Te(1‑x)at%物料球磨，得到干燥的ZnTe(99+x)Cu2Te(1‑x)at%粉末。以此为原料进行热压烧结，制得ZnTe(99+x)Cu2Te(1‑x)at%靶坯。对靶坯进行机械加工得到靶材。本发明使用的密管合成法，按我司研发的时温程序合合成杂相少、成分均匀的ZnTe(99+x)Cu2Te(1‑x)at%，合成产物纯度99.995%以上。按我司独创的热压烧结成形生产工艺生产的碲化锌掺碲化亚铜靶材，相对密度高、成分均匀、晶粒均匀、晶粒小、成膜性能优异。