钼铌合金靶材的生产工艺
基本信息
| 申请号 | CN201310010396.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103060762B | 公开（公告）日 | 2018-02-23 |
| 申请公布号 | CN103060762B | 申请公布日 | 2018-02-23 |
| 分类号 | C23C14/34;B22F9/04;C22C1/04;B22F3/14 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 吴文斌 | 申请（专利权）人 | 江西科泰新材料有限公司 |
| 代理机构 | 江西省专利事务所 | 代理人 | 江西科泰新材料有限公司 |
| 地址 | 330800 江西省宜春市高安市工业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种钼铌合金靶材的生产工艺，其特征在于：把高纯的钼粉和铌粉在混料机内混合均匀，铌粉和钼粉按照1：8‑9的重量比置于混料机中，在1400～1900℃高温真空煅烧炉内煅烧成钼铌合金，把烧结块用油压机破碎成小块后在玛瑙球磨机中，在氦气保护下研磨。磨球配比为1/3，以公转600的微粉，在真空加压烧结装置中压制成型，压力12～25兆帕，在1450～2020℃压30～90分钟，得到靶坯。在磨床上修整得到成品靶材。本发明的方法工艺流程简单，易于实现工业化生产。无污染，制备过程不会产生任何废料、废酸等污染物。 |
