氮化铝掺氮化钪镀膜材料
基本信息
| 申请号 | CN202010882957.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111962021A | 公开（公告）日 | 2020-11-20 |
| 申请公布号 | CN111962021A | 申请公布日 | 2020-11-20 |
| 分类号 | C23C14/06;C23C14/24 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 吴文斌;舒小敏 | 申请（专利权）人 | 江西科泰新材料有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 330800 江西省宜春市高安市新世纪工业园通城西大道 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种氮化铝掺氮化钪镀膜材料，具体地说，氮化铝掺氮化钪镀膜材料包括氮化铝掺氮化钪靶材和氮化铝掺氮化钪蒸发镀膜材料，其化学表达式为：(ScN)x(AlN)1‑x,其中0.02≤x≤0.8,其纯度大于等于98%且小于99.99%。该材料用于制备氮化铝掺氮化钪薄膜及相关器件。 |
