氮化铝掺氮化钪靶材的生产工艺
基本信息
| 申请号 | CN201910970535.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110590375A | 公开（公告）日 | 2019-12-20 |
| 申请公布号 | CN110590375A | 申请公布日 | 2019-12-20 |
| 分类号 | C04B35/582（2006.01）; C04B35/58（2006.01）; C04B35/626（2006.01）; C04B35/622（2006.01）; C04B35/645（2006.01）; C23C14/35（2006.01）; C23C14/06（2006.01） | 分类 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 发明人 | 吴文斌; 舒小敏 | 申请（专利权）人 | 江西科泰新材料有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 330800 江西省宜春市高安市新世纪工业园通城西大道 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种氮化铝掺氮化钪靶材的生产工艺，将高纯钪金属和铝金属粉末冷压成疏松块状，分别装入坩埚，移入真空加热炉，抽真空，通入氮气，采用程度升温气固合成法分别合成ScN、AlN，破碎、球磨成‑100目粉末。ScN、AlN粉末检验合格后，按规定比例混合，以此为原料进行热压烧结，制得氮化铝掺氮化钪靶坯。对靶坯进行机械加工得到靶材。本发明采用程序升温气固合成技术分别合成氮化铝、氮化钪，制成粉末，然后通过真空热压烧结成型技术，制备规定比例的氮化铝掺氮化钪靶材，制备出的氮化铝掺氮化钪靶材是SAW厂家制备Sc掺杂氮化铝功能薄膜的前端产品，质量好、性能优异。 |
