氮化铝钪材料
基本信息
| 申请号 | CN201910970541.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110562936A | 公开（公告）日 | 2019-12-13 |
| 申请公布号 | CN110562936A | 申请公布日 | 2019-12-13 |
| 分类号 | C01B21/00（2006.01）; C23C14/06（2006.01）; C23C14/34（2006.01）; C23C14/35（2006.01） | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 吴文斌; 舒小敏 | 申请（专利权）人 | 江西科泰新材料有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 330800 江西省宜春市高安市新世纪工业园通城西大道 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种氮化铝钪材料，具体地说，是氮化铝钪靶材及氮化铝钪颗粒，氮化铝钪颗粒是由氮化铝钪靶材通过机械加工制备而成，用于蒸发镀膜制备氮化铝钪薄膜及器件。氮化铝钪材料化学表达式为：(ScxAl1‑x)N,其中2at%≤x≤50at%。氮化铝钪靶材相对密度可控范围70.0%‑99.2%、纯度≥99.99%、主要杂质含量之和小于100μg/g、晶粒尺寸最大值可控范围20μm‑200μm。可用于镀膜厂家通过磁控溅射直接制备氮化铝钪薄膜,可避免现有反应溅射法制备氮化铝钪薄膜过程中出现的不稳定现象,提高生产效率和改善薄膜质量。 |
