磷化钽靶材的生产工艺
基本信息
| 申请号 | CN202110980546.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113754437A | 公开（公告）日 | 2021-12-07 |
| 申请公布号 | CN113754437A | 申请公布日 | 2021-12-07 |
| 分类号 | C04B35/515（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I;C04B35/626（2006.01）I;C04B35/645（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I | 分类 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 发明人 | 吴文斌;舒小敏 | 申请（专利权）人 | 江西科泰新材料有限公司 |
| 代理机构 | 南昌金轩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张震东 |
| 地址 | 330800江西省宜春市高安市新世纪工业园通城西大道 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及磷化钽靶材生产的技术领域，具体公开了一种磷化钽靶材的生产工艺。所述工艺包括以下步骤：将纯度≧99.5％的磷化钽置于球磨机中球磨，得500‑800目的磷化钽粉末；将磷化钽粉末装入模具中，并将模具安装于真空热压炉内，抽真空热压炉内气压小于10Pa后，通入惰性气体至真空热压炉内气压至0.01MPa；将真空热压炉以90‑100℃/min至1300‑1600℃，在12‑25MPa的机械压力下，烧结模具中的磷化钽粉末30‑60min，随炉冷却至室温，取出得靶材坯料；对靶材坯料机械加工后清洗烘干，得磷化钽磁控溅射靶材。本申请的生产工艺制备的磷化钽靶材致密度≧95％，纯度≧99.5％，是制备磷化钽Weyl半金属薄膜的良好材料。 |
