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全应变测量式原位纳米压/划痕测试装置

基本信息

申请号 CN201210413791.1 申请日 -
公开（公告）号 CN102928308B 公开（公告）日 2014-07-09
申请公布号 CN102928308B 申请公布日 2014-07-09
分类号 G01N3/42;G01N3/46;G01N3/02;G01N3/06 分类 测量；测试;
发明人 黄虎;赵宏伟;史成利;万顺光 申请（专利权）人 长春中机试验设备有限公司
代理机构 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 代理人 王怡敏
地址 130000 吉林省长春市高新区硅谷大街1118号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种全应变测量式原位纳米压/划痕测试装置，属于电一体化的精密科学仪器领域。包括宏动调整机构、精密压入单元、载荷与位移信号检测单元以及划痕驱动单元，所述宏动调整机构安装在基座上；精密压入单元通过过渡连接板连接在宏动调整机构的x向滑台上；载荷与位移信号检测单元包含二组八片应变片，通过内嵌的方式分别安装在精密压入单元的载荷检测用柔性铰链和x向柔性铰链上；划痕驱动单元通过螺钉与基座相连接。采用内置的应变片进行信号检测，使得整个测试装置结构紧凑、体积小，便于整个测试装置安装于扫描电子显微镜（SEM）或X射线衍射仪等载物台上实现材料的原位压痕、划痕测试，为研究材料的损伤机制提供技术支持。