显微组件下跨尺度原位微纳米拉伸/压缩液压驱动测试装置

基本信息

申请号 CN201110353413.4 申请日 -
公开(公告)号 CN102384878B 公开(公告)日 2013-04-24
申请公布号 CN102384878B 申请公布日 2013-04-24
分类号 G01N3/36;G01N3/02 分类 测量;测试;
发明人 赵宏伟;张霖;史成利;胡晓利;马志超;黄虎;王开厅 申请(专利权)人 长春中机试验设备有限公司
代理机构 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 代理人 王怡敏
地址 130000 吉林省长春市高新区硅谷大街1118号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种显微组件下跨尺度原位微纳米拉伸/压缩液压驱动测试装置,属于机械类。包括液压精密驱动控制单元、测试执行单元、三自由度调整工作台、测试检测单元、连接及支撑单元;伺服液压缸Ⅰ~Ⅳ的输出端分别与移动车架组相连,所述移动车架组与基板滑动连接;所述伺服液压缸Ⅰ、Ⅱ分别固定在前侧板上,伺服液压缸Ⅲ、Ⅳ分别固定在测力车架组上,卡具Ⅰ、Ⅱ分别固定在移动车架组及测试车架组的上方。优点在于:体积小、重量轻、刚度高、结构紧凑、测试精度高,并且能够在线监测试件微观变形以及损伤断裂过程,可提供的测试内容丰富等特点,可得材料的弹性模量、屈服极限及断裂强度等重要力学参数,也可获得样品的抗疲劳性能。