一种嵌件式注塑一体晶圆研磨环
基本信息
| 申请号 | CN202020776549.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212311735U | 公开（公告）日 | 2021-01-08 |
| 申请公布号 | CN212311735U | 申请公布日 | 2021-01-08 |
| 分类号 | B24B37/11(2012.01)I;B29C45/14(2006.01)I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 焦邦杰 | 申请（专利权）人 | 常州胜威塑料有限公司 |
| 代理机构 | 南京知识律师事务所 | 代理人 | 王昊 |
| 地址 | 213145江苏省常州市武进区武进经济开发区长帆路9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种嵌件式注塑一体晶圆研磨环，属于半导体晶圆研磨技术领域。本实用新型的晶圆研磨环，其包括研磨环主体、金属加强环和柱塞件，柱塞件由不导电材质制成，柱塞件上具有连接孔，金属加强环上设有沿环向间隔分布的若干柱塞孔，柱塞件安装于柱塞孔内，金属加强环和柱塞件通过注塑工艺一体嵌入研磨环主体的内部，且研磨环主体上的研磨环安装孔与柱塞件上的连接孔位置相对应。采用上述研磨环结构，研磨环主体和金属加强环结合牢固可靠，解决了现有组合式研磨环易松动而导致研磨精度较差的问题；并且，研磨环通过内嵌的不导电柱塞件实现与研磨设备的连接，有效实现了研磨环与外界的绝缘，有效防止了设备静电对晶圆电路产生的损坏。 |
