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氮化硅的制备方法

基本信息

申请号 CN201810354780.8 申请日 -
公开（公告）号 CN108285132B 公开（公告）日 2019-11-15
申请公布号 CN108285132B 申请公布日 2019-11-15
分类号 C01B21/068 分类 无机化学;
发明人 朱青松;何文;董占美;王佳军;年夫雪 申请（专利权）人 苏州协鑫能源技术发展有限公司
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人 苏州协鑫能源技术发展有限公司
地址 215000江苏省苏州市工业园区新庆路28号二层东南角
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种氮化硅的制备方法，该制备方法包括：预热原料卤化硅和/或氢卤化硅和/或硅烷至第一温度，形成第一反应流体；预热原料氮气和/或氨气至第二温度，形成第二反应流体；将第一反应流体以第一流速、第二反应流体以第二流速输入流化反应装置，调节第一流速、第二流速使流化反应装置中所得混合流体达到第三温度，卤化硅和/或氢卤化硅和/或硅烷、氮气和/或氨气于该第三温度下反应，获得氮化硅；第一温度小于第三温度，第三温度小于第二温度。反应温度调控灵活、调节快速精准，能够将混合流体温度控制在严格特定温度区间，从而仅生成该特定温度区间对应的氮化硅类型，不会出现不同相氮化硅的混合，纯度极高；瞬间反应，生产速度快。